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Semiconductor Equipment
半導(dǎo)體裝備
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CST清洗設(shè)備
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CST清洗設(shè)備

所屬分類 : 半導(dǎo)體裝備
wMBPURrcQS6U55ceJWTUzQ

基本規(guī)格:

-產(chǎn)品說明:清洗卡匣,確??ㄏ辉诋a(chǎn)線運行的潔凈度;

-適用范圍:G6 CST和G6 Half CST;

-工藝流程:加載→玻璃和卡匣感應(yīng)檢測→熱DI高壓清洗→DI清洗→CDA風機(風干)→1#熱烘干→2#熱烘干→卡匣變形檢驗→卸載;

-干燥方式:卡匣在干燥室內(nèi)旋轉(zhuǎn)通過熱風進行烘干;

-設(shè)備節(jié)拍:根據(jù)客戶需求設(shè)計;

-產(chǎn)品定制:室體規(guī)格根據(jù)Cassette規(guī)格設(shè)計;有一室/二室/三室等規(guī)格可選擇;


金屬

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